深圳，2025年9月12日22:42（现场发稿） —— 在今日闭幕的深圳国际半导体展会上，东莞仟净环保设备有限公司以半导体级工程设备与智能实验室水系统双线产品引发行业深度关注。针对晶圆外延、封装及碳化硅晶圆打磨等高精度需求，其设备凭借超高纯度稳定性与灵活部署能力，现场达成多个头部企业合作意向，彰显国产高端环保装备的技术突破。

工程设备破解量产痛点

• 半层体超纯水系统采用多级纯化耦合技术，有效控制有机污染物及金属离子含量，满足先进制程对水质的严苛要求
• 模块化架构大幅简化安装流程，支持晶圆厂快速扩产需求，较传统设备显著降低空间占用与运维复杂度

实验室设备精准护航研发

• 中小型超纯水机集成智能监控平台，实时保障碳化硅晶圆打磨等工艺的用水洁净度
• 创新双回路设计同步满足清洗与实验的差异化纯度需求，提升研发效率同时降低能耗

国产化进程获权威验证

展会期间，仟净与多家科研机构签署技术合作协议，共同推进半导体用水标准建设。其工程设备已通过国家半导体设备质量监督检验中心认证，并在国内主流晶圆厂实现规模化应用。据行业观察，随着第三代半导体产业扩张，仟净的晶圆级水质控制技术正成为支撑国产芯片良率提升的关键基础设施。

绿色智造新实践

仟净同步展示的水资源循环利用方案，通过创新回收工艺助力芯片厂降低纯水制备成本。公司表示将持续投入低碳技术研发，响应国家半导体产业链可持续发展战略。